Abstract
脈沖偏壓電源在等離子體表面改性處理技術應用中起到很重要的作用。偏壓可以有效調整載能粒子束流密度、工件表面狀態、膜基結合力、膜層內應力、膜層結構等等,從而有效優化表面性能。我們研制了幾種模式的高頻脈沖偏壓電源。利用IGBT開關電路模塊串聯或變壓器串并聯技術獲得了所需模式的高頻高壓脈沖電壓波形。介紹了該種脈沖電源在不銹鋼等離子體注入/氮化處理中的應用。
| Translated title of the contribution | 用于等離子體表面改性的高頻高壓偏壓電源研制 |
|---|---|
| Original language | Chinese (Simplified) |
| Title of host publication | 第五届全国表面工程学术会议论文集 |
| Editors | 李久长, 徐可为 |
| Publisher | 中国机械工程学会表面工程分会 |
| Pages | 333-335 |
| Publication status | Published - Apr 2004 |
| Event | 第五届全国表面工程学术会议 - 西安, China Duration: 9 Apr 2004 → 13 Apr 2004 |
Conference
| Conference | 第五届全国表面工程学术会议 |
|---|---|
| Country/Territory | China |
| City | 西安 |
| Period | 9/04/04 → 13/04/04 |